工業VOCs廢氣處理中熱分解工藝一般分為直燃（TO）、蓄熱焚燒（RTO）、催化燃燒（CO）、蓄熱催化燃燒（RCO）四種，只是燃燒方式和換熱方式的兩兩組合不同，主要是用于處理吸附濃縮氣，也可以用于直接處理廢氣濃度大于3.5g/m3的中高濃度廢氣。

TO是將高濃度廢氣直接送入燃燒室直接燃燒，高溫燃燒氣通過換熱器與新進廢氣間接換熱后排掉，換熱效率一般低于60%，導致運行成本很高，只有少數能有效利用排放預熱或有副產燃氣的企業中應用。RTO的燃燒方式和TO相同，只是將換熱器改為蓄熱陶瓷，高溫燃燒與新進廢氣交替進入蓄熱陶瓷換熱，熱利用率達到90%以上，運行成本較低，是目前的主流工藝。

CO是有機廢氣源通過引風機作用送入凈化裝置換熱器換熱，再送入加熱室，通過電加熱裝置，使氣體達到催化反應溫度，并在催化室內催化劑的作用下，分解成CO2和H2O。有機廢氣分解的過程為放熱反應，反應后的氣體再進入換熱器與低溫氣體進行熱交換，使進入的氣體升溫預熱。加熱系統僅需通過自控系統實現補償加熱，即可完全燃燒，節省能源，且廢氣有效去除率達到95%以上RCO和CO燃燒方式相同，換熱方式與RTO相同，投資堪比RTO且處理廢氣種類受催化劑影響，種類少于RTO。

綜上所述，這就是現行工藝主要是RTO和CO的原因。那RTO與CO在必選方面又有什么不同呢？

廢氣種類上：含硫磷類廢氣會使CO中毒，不能用CO。忽略少部分硫磷類廢氣的燃燒腐蝕可以限制性使用RTO。兩種工藝都不能處理含鹵代烴廢氣，避免產生二噁英。含硅烷類廢氣使用要注意考慮二氧化硅的堵塞問題。RTO預處理要達到F6級，CO預處理僅需G4級別。

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